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真空镀膜设备产品质量分等(内部使用)JBT 53021-1999.pdf

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-04-27  浏览次数:404   关注:加关注
核心提示:真空镀膜设备产品质量分等(内部使用)JBT 53021-1999.pdf

【标准号】JB/T 53021-1999

【标准简介】

真空镀膜设备 产品质量分等(内部使用) JB/T 53021-1999
中华人民共和国机械行业标准
本标准规定了真空镀膜设备(以下简称产品)的质量等级、检验规则和评定方法。
本标准适用于压力在10–4~10–3 Pa 范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。

真空镀膜设备 产品质量分等(内部使用) JB/T 53021-1999
中华人民共和国机械行业标准
本标准规定了真空镀膜设备(以下简称产品)的质量等级、检验规则和评定方法。
本标准适用于压力在10–4~10–3 Pa 范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。

真空镀膜设备产品质量分等(内部使用)JBT 53021-1999.pdf
 

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